?刻蝕機(jī)和光刻機(jī)的差別:光刻機(jī)把圖案設(shè)計刻上去,隨后刻蝕機(jī)依據(jù)刻上去的圖案設(shè)計離子注入掉有圖案設(shè)計(或是沒有圖案設(shè)計)的一部分,留有剩余的部分。離子注入相對性光刻技術(shù)要非常容易。假如把在硅晶體上的工程施工比成木工活得話,光刻機(jī)的功效等同于木工在木材上用墨斗線畫線,刻蝕機(jī)的功效等同于木工在木材上用手鋸、木工鑿、斧頭、刨刀等工程施工。蝕刻機(jī)和光刻機(jī)特性一樣,但精密度規(guī)定是天差地別。木工做細(xì)心活,一般精準(zhǔn)到mm就可以了。做處理芯片用的刻蝕機(jī)和光刻機(jī),要精準(zhǔn)到納米。
如今的手機(jī)處理器,如海思麒麟970,驍龍?zhí)幚砥?45全是tsmc的10納米技術(shù)。10納米有多小呢?舉個例子。假如把一根直徑是0.05mm發(fā)絲,按徑向均值割成5000片,一片的薄厚大概便是10納米。如今世界最專業(yè)的光刻機(jī)是荷蘭的ASML企業(yè),最少到10納米。tsmc買的全是它的光刻機(jī)。ASML企業(yè)事實上是美國、荷蘭、德國等好幾個國家技術(shù)協(xié)作的結(jié)果。由于這方面的科學(xué)研究難度系數(shù)很大,單獨(dú)國家進(jìn)行不了。除開ASML,全世界僅有大家仍在高檔光刻機(jī)上勤奮產(chǎn)品研發(fā)。
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我們都是遭受技術(shù)禁售的,不可以買他最現(xiàn)代化的商品,中國上海市批量生產(chǎn)的是90納米的光刻機(jī)。技術(shù)上面有差別。2017年,長春光機(jī)所“極紫外線”技術(shù)得到提升,預(yù)估能做到22-32納米,技術(shù)差別變小了。
我堅信,沒多久的未來,大家的科研人員一定能研發(fā)出全球一流的光刻機(jī),不會再被受制于人。關(guān)鍵技術(shù)、重要技術(shù)、大國重器務(wù)必立足自身。高新科技的科技攻關(guān)要革除想象,靠我們自己。
大家刻蝕機(jī)技術(shù)早已提升,5納米的刻蝕機(jī)大家也可以獨(dú)立生產(chǎn)制造,如今受制于人的是光刻機(jī)。在芯片加工全過程中,光刻機(jī)施工放樣,刻蝕機(jī)工程施工,清洗設(shè)備清理。隨后不斷循環(huán)系統(tǒng)幾十次,一般要500道上下的工藝流程,處理芯片——也就是電子管的電子器件才可以進(jìn)行。施工放樣達(dá)不上精密度,刻蝕機(jī)就喪失立足之地了。